磁控溅射论文

射频磁控溅射二氧化硅薄膜工艺探讨

一、射频磁控溅射二氧化硅薄膜的工艺探讨（论文文献综述）卢雷贺[1]（2021）在《新型体声波谐振器的研究》文中认为体声波谐振器是一种新型MEMS（微机电系统,MicroElec...
ZnO薄膜研究新进展

一、氧化锌薄膜研究的新进展（论文文献综述）闫琳[1]（2021）在《钆掺杂氧化锌的制备及气敏特性的实验研究》文中研究说明近年来,随着社会的不断发展和科学技术的进步,大量高科技已...